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    屏體Pad壓合中的導電粒子相關內容
    編輯:雁楓 [ 2021-10-28 10:55:09 ] AMOLED
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    商用導電珠是一種核殼結構,核是高分子聚合物,殼是金鎳合金。導電珠直徑根據上下基板間的距離可選擇10-13um,誤差在0.5um以下。導電珠與UV膠混合后進行固化工藝,使z方向上下層間導通。

    利用顯微鏡觀察金屬pad上的導電珠情況,在明場條件下由于入射光被金屬pad阻隔,顯微鏡中看不到pad下方的導電珠情況。在暗場模式下,金屬粒子和pad邊緣有很強的對比度,如下圖所示。但這種模式看不到pad下方的金屬粒子。

    在DIC(Differential Interference Constrast)技術條件下,可以看到在pad上面有因為導電粒子的反作用力導致的凸起,可以得到pad下方的粒子信息,如下圖所示。通過x-ray顯微鏡來確認相同位置pad下方的粒子確實存在。DIC模式是粒子狀態快速準確確認的一種可靠手段。

    pad和導電粒子間的擴展電阻Rsr由下式估算

    pad和metal代表電阻率,a代表接觸部分的一半,SEM電鏡確認接觸面大約2um。值得注意的是,pad間就算只有一顆導電粒子,也足以保證pad間的連接是正常導通的。如下圖紅色標記所示。

    由于后續會將玻璃基板給LLO掉,襯底只保留了CPI或者YPI層,混有導電粒子的膠可能會對金屬線造成損壞,例如屏體AA區周圍的Data line和Scan line。當前道工序有SiOx碎片殘留,混入有機膠內時,屏體經過60℃/RH90% 100h驗證時,金屬走線所在的無基層會出現輻射形裂紋,金屬線阻抗增加,信號傳輸會相對其他線路變慢。如下圖所示。

    另外,還會有兩顆粒子疊加被過度擠壓,導致上方數據走線出現同樣的裂紋,造成信號延遲的現象,如下圖所示。

    在array段,光刻機殘留、無機材料殘留都有可能落在pad上,造成pad接觸不良。此外,Plasmas清洗工藝經常用來清潔金屬或者ITO表面,離子氣體一般包括Ar、CF4、O2等,但是由于pad間的粘附力波動,會出現peeling問題,如下圖所示。有機膠中的空氣氣泡或者真空氣泡也會造成走線的斷裂,導致通信中斷。

    下面欣賞一下成品:

    5.6寸,內外彎折半徑4mm,彎折次數20萬次

    卷曲雙面顯示技術


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